Beschleunigung kapazitiv mehrachsig

Kapazitive Sensoren gehören zu den mikromechanisch gefertigten Sensoren (MEMS). Im Gegensatz zu den resistiven Ausführungen reagiert das sensitive Element nicht auf Längen- und somit Widerstandsänderung, sondern auf den Abstand des schwingenden Elementes auf eine fixe Struktur, ähnlich wie ein Plattenkondensator, der seine Kapazität durch Verschiebung der Kondensatorplatten ändert.
Das sensitive Element (also der Sensor selbst) wird auf einer kleinen Platine im Sensorgehäuse untergebracht, darauf befinden sich u.a. der Spannungsregulator und der Verstärker.
Kapazitive Sensoren eignen sich für statische und niederfrequente Messungen und haben den Vorteil, dass sie robust aufgebaut sind und über ein verstärktes Ausgangssignal verfügen. Nachteilig bei dieser Technologie ist u.a. das Rauschverhalten.

Kapazitive Beschleunigungssensoren, dreiachsig
(LN=LowNoise-Ausführung, OS=Offshore-Ausführung)

 

  Modell   Spezifikation Datenblatt
http://www.asc-sensors.de/fileadmin/_processed_/csm_ASC_5411LN_ASC_5415LN_9a5182d888.png 5411LN Messbereich
Achsen
Empfindlichkeit
Gehäusematerial
Betriebstemperatur
2g - 200g
Triachsial
20 mV/g - 2.000 mV/g
Aluminium
-40 °C bis +100 °C
 
http://www.asc-sensors.de/fileadmin/_processed_/csm_ASC_5411LN_ASC_5415LN_9a5182d888.png 5415LN Messbereich
Achsen
Empfindlichkeit
Gehäusematerial
Betriebstemperatur
2g - 200g
Triachsial
20 mV/g - 2.000 mV/g
Edelstahl
-40 °C bis +100 °C
 
http://www.asc-sensors.de/fileadmin/_processed_/csm_ASC_5421_ASC_5425_6586bdffbb.png 5421 Messbereich
Achsen
Empfindlichkeit
Gehäusematerial
Betriebstemperatur
1g - 200g
Triachsial
10 mV/g - 2.000 mV/g
Aluminium
-40 °C bis +100 °C
 
http://www.asc-sensors.de/fileadmin/_processed_/csm_ASC_5421_ASC_5425_6586bdffbb.png 5425 Messbereich
Achsen
Empfindlichkeit
Gehäusematerial
Betriebstemperatur
1g - 200g
Triachsial
10 mV/g - 2.000 mV/g
Edelstahl
-40 °C bis +100 °C
 
http://www.asc-sensors.de/fileadmin/_processed_/csm_ASC_5511LN_ASC_5515LN_d38a0fe2fa.png 5511LN Messbereich
Achsen
Empfindlichkeit
Gehäusematerial
Betriebstemperatur
2g - 200g
Triachsial
20 mV/g - 2.000 mV/g
Aluminium
-40 °C bis +100 °C
 
http://www.asc-sensors.de/fileadmin/_processed_/csm_ASC_5511LN_ASC_5515LN_d38a0fe2fa.png 5515LN Messbereich
Achsen
Empfindlichkeit
Gehäusematerial
Betriebstemperatur
2g - 200g
Triachsial
20 mV/g - 2.000 mV/g
Edelstahl
-40 °C bis +100 °C
 
http://www.asc-sensors.de/fileadmin/_processed_/csm_ASC_5521_ASC_5525_21255b9968.png 5521 Messbereich
Achsen
Empfindlichkeit
Gehäusematerial
Betriebstemperatur
1g - 200g
Triachsial
10 mV/g - 2.000 mV/g
Aluminium
-40 °C bis +100 °C
 
http://www.asc-sensors.de/fileadmin/_processed_/csm_ASC_5721_a386fa8fc6.png 5721 Messbereich
Achsen
Empfindlichkeit
Gehäusematerial
Betriebstemperatur
1g - 200g
Triachsial
10 mV/g - 2.000 mV/g
Aluminium
-40 °C bis +100 °C
 
http://www.asc-sensors.de/fileadmin/_processed_/csm_ASC_OS_315LN_Kopie_acb337cea4.png OS 315LN Messbereich
Achsen
Empfindlichkeit
Gehäusematerial
Betriebstemperatur
2g - 400g
Triachsial
10 mV/g - 2.000 mV/g
Edelstahl
-40 °C bis +100 °C
 

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